A.電子振蕩放電 B.離子自動放電 C.低電壓弧光放電 D.雙等離子電弧放電
A.離子距離 B.靶厚 C.射程 D.注入深度
A.分凝度 B.固溶度 C.分凝系數(shù) D.擴散系數(shù)
A.蒸鍍 B.濺射 C.離子注入 D.CVD
A.后烘 B.去水烘烤 C.軟烤 D.烘烤
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