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電子束曝光
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電子束曝光是先利用低功率密度的電子束照射稱為電致抗蝕劑的高分子材料,由入射電子和高分子材料相碰撞,使分子鏈被切斷或重新聚...
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【簡答題】簡述電子束打孔。
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電子束打孔已在生產中實際應用。目前,電子束打孔的最小直徑已達1??讖皆?.5~0.9mm時,其最大孔深已超過10mm,即...
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電子槍
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電子槍是獲得電子束的裝置,它包括電子發(fā)射陰極、控制柵極和加速陽極等。
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