填空題

高純硅制備過程為（）→（）→（）→（）→（）。

答案： 氧化硅；粗硅；低純四氯化硅；高純四氯化硅；高純硅
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集成電路制作工藝大體上可以分成三類，包括（）、（）、（）。
答案： 圖形轉(zhuǎn)化技術(shù)；薄膜制備技術(shù)；摻雜技術(shù)
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