問答題

【簡答題】簡述CVD原理簡單的歸納。

答案：（1）CVD沉積反應(yīng)是由5個(gè)相串聯(lián)的步驟所形成的。其速率的快慢取決于其中最慢的一項(xiàng)，主要是反應(yīng)物的擴(kuò)散及CVD的化學(xué)反應(yīng)...

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答案：

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