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填空題
光化學(xué)腐蝕制備掩膜采用（）受到光照射而凝固，不受光的部分仍然為液態(tài)，這實(shí)質(zhì)上是將化學(xué)加工常規(guī)制備掩膜時(shí)的（）和（）兩道工序合二為一。
答案：
光敏樹(shù)脂等感光材料；掩膜涂覆；刻劃
