填空題

化學(xué)機械拋光（CMP）是將游離磨料的（）作用和氧化劑的（）作用有機結(jié)合，實現(xiàn)超精磨無損傷表面加工，因而也是一種復(fù)合加工方法。

答案：機械研磨；化學(xué)

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化學(xué)拋光包括表面的（）化和（）化兩個過程。后一個過程是改變了材料的（），能使得金屬制品超過原有的光澤效果（光亮度）。

答案：平滑；光亮；金相結(jié)構(gòu)

化學(xué)拋光利用（）反應(yīng)，凸出部分的氧化膜更厚其溶解速度（）凹陷處的溶解速度，從而使得加工表面逐漸均平并光亮化。

答案：氧化；大于