有一臺變間隙非接觸式電容測微儀,其傳感器的極板半徑r=4mm,假設(shè)與被測工件的初始間隙δ0=0.3mm,已知極板間介質(zhì)為空氣,空氣介電常數(shù)ε0=8.85*10-12F/m,試問 (1)如果傳感器與工件的間隙變化量Δδ=+10μm,那么電容變化量為多少? (2)如果測量電路的靈敏度K=100mV/pF,則在Δδ=+1μm時(shí)的輸出電壓為多少?
有一平面直線位移差動(dòng)傳感器,其測量電路采用變壓器交流電橋,如圖所示。電容傳感器起始時(shí)b1=b2=b=200mm,a1=a2=20mm,極距d=2mm,極間介質(zhì)為空氣,測量電路ui=3sinωtV,且u=ui。試求當(dāng)動(dòng)極板上輸入一位移量Δx=5mm時(shí),電橋輸出電壓uo為多少?