問答題

【簡答題】簡述什么是硅熱氧化以及氧化的工藝目的、氧化方式及其化學反應(yīng)式。

答案：硅熱氧化是氧分子或水分子在高溫下與硅發(fā)生化學反應(yīng)，并在硅片表面生長氧化硅的過程。
氧化的工藝目的：在硅片上生長...

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不同（）的硅片，它的化學、電學、和機械性質(zhì)都（），這會影響最終的（）。例如（），界面態(tài)等。

答案：晶向；不同；器件性能；遷移率

【簡答題】簡述區(qū)熔法（FZ法）的特點與優(yōu)缺點。

答案：

區(qū)熔法（FZ法）的特點使用摻雜好的多晶硅棒；
優(yōu)點是純度高、含氧量低；
缺點是硅片直徑比直拉的小。