問答題

答案：優(yōu)點(diǎn)：①精確地控制摻雜濃度和摻雜深度；
②可以獲得任意的雜質(zhì)濃度分布；
③雜質(zhì)濃度均勻性、重復(fù)性好；...

你可能感興趣的試題

答案：雜質(zhì)擴(kuò)散濃度分布曲線與襯底摻雜濃度曲線交點(diǎn)的位置稱為結(jié)深。

答案：

①在整個擴(kuò)散過程中，雜質(zhì)總量保持不變；
②擴(kuò)散時間越長，擴(kuò)散溫度越高，則雜質(zhì)擴(kuò)散得越深，表面濃度越低；
③表面雜質(zhì)濃度可控。