問答題

【簡答題】簡述ULSI對刻蝕的要求。

答案： ①對不需要刻蝕的材料（主要是光刻膠和下層材料）的高選擇比；
②可接受產(chǎn)能的刻蝕速率；
③好的側(cè)壁剖面...

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【簡答題】刻蝕有哪些參數(shù)？

答案：

①刻蝕速率；
②刻蝕偏差；
③選擇比；
④均勻性；
⑤刻蝕剖面。

【簡答題】簡述法刻蝕的優(yōu)缺點（與濕法刻蝕比）。

答案：優(yōu)點：①刻蝕剖面各向異性，非常好的側(cè)壁剖面控制；
②好的CD控制；
③最小的光刻膠脫落或粘附問題；<...