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半導(dǎo)體應(yīng)變計應(yīng)用較普遍的有()、()、()、()等。
答案:
體型;薄膜型;擴(kuò)散型;外延型
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依據(jù)傳感器的工作原理,傳感器分(),(),()三個部分組成。
答案:
敏感元件;轉(zhuǎn)換元件;測量電路
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