填空題

柔性制造系統(tǒng)的組成包括：（），（），信息控制系統(tǒng)和一套計算機控制系統(tǒng)。

答案：加工系統(tǒng)；物流系統(tǒng)

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工業(yè)機器人一般由機械系統(tǒng)，（），（）和（）等幾個部分組成。

答案：控制系統(tǒng)；驅(qū)動系統(tǒng)；智能系統(tǒng)

微細加工工藝方法主要有：（），光刻加工，體刻蝕加工技術(shù)，面刻蝕加工技術(shù)，LIGA技術(shù)，（）和（）。

答案：三束加工技術(shù)；犧牲層技術(shù)；外延生長技術(shù)