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在鍍膜前先需核對所鍍鏡片與流程卡是否相符。
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判斷題
手動關(guān)機時,關(guān)閉擴散泵加熱,等冷卻50分鐘后,需先關(guān)閉MV閥、再關(guān)羅茨泵和機械泵。
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手動開機時,打開擴散泵(DP)加熱開關(guān)前先需把MV閥打開,否則會影響擴散泵抽速。
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