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膜料藥勺可以拿來添加氟化鎂膜料。
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在鍍膜前先需核對(duì)所鍍鏡片與流程卡是否相符。
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手動(dòng)關(guān)機(jī)時(shí),關(guān)閉擴(kuò)散泵加熱,等冷卻50分鐘后,需先關(guān)閉MV閥、再關(guān)羅茨泵和機(jī)械泵。
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