問答題

【簡答題】二氧化硅薄膜在集成電路中具有怎樣的應用？

答案： ①器件保護（避免劃傷和污染），因sio₂致密；
②表面鈍化（飽和懸掛鍵，降低界面態(tài)；需一...

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【簡答題】STI隔離技術中，為什么采用干法離子刻蝕形成槽？

答案：

采用干法刻蝕，是為了保證深寬比。

【簡答題】描述金屬復合層中用到的材料？

答案：采用三明治金屬結構，包括：
（1）淀積Ti，使鎢塞和下一層金屬良好鍵合，層間介質(zhì)良好鍵合；
（2）A...