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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】解釋掃描投影光刻機(jī)是怎樣工作的？掃描投影光刻機(jī)努力解決什么問(wèn)題？
答案：
掃描投影光刻機(jī)的概念是利用反射鏡系統(tǒng)把有1：1圖像的整個(gè)掩膜圖形投影到硅片表面，其原理是，紫外光線通過(guò)一個(gè)狹縫聚焦在硅片...
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】例舉并描述光刻中使用的兩種曝光光源。
答案：
汞燈，高壓汞燈，電流通過(guò)裝有氙汞氣體的管子產(chǎn)生電弧放電，這個(gè)電弧發(fā)射出一個(gè)特征光譜，包括240納米到500納米之間有用的...
問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】描述曝光波長(zhǎng)和圖像分辨率之間的關(guān)系。
答案：
減少曝光光源的波長(zhǎng)對(duì)提高分辨率非常重要，波長(zhǎng)的越小圖像的分辨率就越高圖像就越精確。
