A.擴散層質(zhì)量 B.設(shè)計 C.光刻
A.掩膜版 B.擴散 C.光刻
A.化學(xué)刻蝕機理 B.物理刻蝕機理 C.物理的濺射刻蝕和化學(xué)的反應(yīng)刻蝕相結(jié)合