多項選擇題

屬于鋁的性質(zhì)有（）。

A.電阻低
B.抗電遷移特性好
C.對硅氧化物有很好的黏合性
D.有很高的純度
E.易于光刻

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單項選擇題

下列材料中電阻率最低的是（）。

A.鋁
B.銅
C.多晶硅
D.金

多項選擇題

在半導(dǎo)體工藝中，與氮化硅比較，二氧化硅更適合應(yīng)用在（）。

A.晶圓頂層的保護(hù)層
B.多層金屬的介質(zhì)層
C.多晶硅與金屬之間的絕緣層
D.摻雜阻擋層
E.晶圓片上器件之間的隔離