A.LPCVD B.PECVD C.CVD D.PVD
A.LVD B.PED C.CVD D.PVD
A.形成晶核 B.晶粒成長(zhǎng) C.晶粒凝結(jié) D.縫道填補(bǔ) E.沉積膜成長(zhǎng)