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單項(xiàng)選擇題

以下哪項(xiàng)不是STI工藝氣體？（）

A.SiH₄
B.O₂
C.N₂O
D.Ar

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單項(xiàng)選擇題

CMP清洗部分的順序是（）。

A.兆聲清洗（Meg）-SRD（甩干）-Brush（刷洗）
B.兆聲清洗（Meg）-Brush（刷洗）-SRD（甩干）
C.Brush（刷洗）-兆聲清洗（Meg）-SRD（甩干）
D.Brush（刷洗）-SRD（甩干）-兆聲清洗（Meg）

單項(xiàng)選擇題

高電流注入機(jī)的掃描方式為（）。

A.靜電掃描
B.機(jī)械掃描
C.靜電掃描與機(jī)械掃描結(jié)合

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