問答題

【簡答題】解釋擴散系數(shù)及其物理含義，并說明影響擴散系數(shù)的主要因素是什么，及如何影響？

答案：雜質(zhì)的擴散流密度與雜質(zhì)的濃度梯度成正比，將二者之間的比例系數(shù)定義為雜質(zhì)在基體材料中的擴散系數(shù)，其單位為cm^2<...

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【簡答題】說明雜質(zhì)在晶圓中的擴散機制及主要特點，并各舉一例。

答案：間隙式雜質(zhì)從一個間隙到另一個間隙的運動是通過原子間的縫隙進行的，這種依靠間隙方式而逐步跳躍前進的擴散稱為間隙式擴散（In...

【簡答題】什么是擴散？并說明擴散的兩個基本條件？按材料的形態(tài)劃分，擴散有那幾種基本形式？工藝中的高溫擴散屬于哪一種？

答案：

擴散，是一種材料通過另一種材料的運動。
擴散的兩個必要條件：濃度差，過程所需要的能量。
固態(tài)，液態(tài)，氣態(tài)擴散。
屬于固態(tài)擴散。