問答題

【簡(jiǎn)答題】微電子器件的特征尺寸繼續(xù)縮小的關(guān)鍵技術(shù)有哪些？

答案：第一個(gè)關(guān)鍵技術(shù)層次：微細(xì)加工；
第二個(gè)關(guān)鍵技術(shù)：互連技術(shù)；
第三個(gè)關(guān)鍵技術(shù)：新型器件結(jié)構(gòu)，新型材料體...

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答案：根據(jù)電路功能和性能的要求，在正確選擇系統(tǒng)配置、電路形式、器件結(jié)構(gòu)、工藝方案和設(shè)計(jì)規(guī)則的情況下，盡量減小芯片面積，降低設(shè)計(jì)...