填空題

CZ直拉法的目的是（）。

答案：實現均勻摻雜的同時并且復制仔晶的結構，得到合適的硅錠直徑并且限制雜質引入到硅中

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CZ直拉法生長單晶硅是把（）變?yōu)椋ǎ┎⑶遥ǎ┑墓腆w硅錠。

答案：融化了的半導體級硅液體；有正確晶向的；被摻雜成p型或n型

從半導體制造來講，晶圓中用的最廣的晶體平面的密勒符號是（）、（）和（）。

答案： 100；110；111