填空題

縮略語PECVD、LPCVD、HDPCVD和APCVD的中文名稱分別是（）、（）、高密度等離子體化學(xué)氣相淀積和（）。

答案：等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積；低壓化學(xué)氣相淀積；常壓化學(xué)氣相淀積

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淀積膜的過程有三個(gè)不同的階段。第一步是（），第二步是（），第三步是（）。

答案：晶核形成；聚焦成束；匯聚成膜

目前常用的CVD系統(tǒng)有（）、（）和（）。

答案： APCVD；LPCVD；PECVD