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暴露在高溫的氧氣氛圍中,硅片上能生長(zhǎng)出氧化硅。生長(zhǎng)一詞表示這個(gè)過程實(shí)際是消耗了硅片上的硅材料。
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當(dāng)硅片暴露在空氣中時(shí),會(huì)立刻生成一層無定形的氧化硅薄膜。
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成品率是指在一片晶圓上所有芯片中好芯片所占的百分比。
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