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判斷題

快速熱處理是一種小型的快速加熱系統(tǒng)，帶有輻射熱和冷卻源，通常一次處理一片硅片。

答案：正確

你可能感興趣的試題

用于亞0.25μm工藝的選擇性氧化的主要技術(shù)是淺槽隔離。

答案：正確

傳統(tǒng)的0.25μm工藝以上的器件隔離方法是硅的局部氧化。

答案：正確