<th id="6sc2k"></th>

判斷題

LPCVD緊隨PECVD的發(fā)展而發(fā)展。由660℃降為450℃，采用增強(qiáng)的等離子體，增加淀積能量，即低壓和低溫。

答案：錯(cuò)誤

你可能感興趣的試題

與APCVD相比，LPCVD有更低的成本、更高的產(chǎn)量以及更好的膜性能，因此應(yīng)用更為廣泛。

答案：正確

APCVD反應(yīng)器中的硅片通常是平放在一個(gè)平面上。

答案：正確

<samp id="oi2ey"><tbody id="oi2ey"></tbody></samp>

<strike id="oi2ey"><menu id="oi2ey"></menu></strike>