名詞解釋

答案：由于光刻膠無(wú)法承受高溫過(guò)程，擴(kuò)散的掩膜都是二氧化硅或氮化硅。當(dāng)原子擴(kuò)散進(jìn)入硅片，它們向各個(gè)方向運(yùn)動(dòng)：向硅的內(nèi)部，橫向和重...

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答案：

在整個(gè)擴(kuò)散過(guò)程中，雜質(zhì)不斷進(jìn)入硅中，而表面雜質(zhì)濃度始終保持不變。

答案：

擴(kuò)散開(kāi)始時(shí)，表面放入一定量的雜質(zhì)源，而在以后的擴(kuò)散過(guò)程中不再有雜質(zhì)加入，此種擴(kuò)散稱(chēng)為有限源擴(kuò)散。