是指脈沖的寬度按正弦規(guī)律變化而和正弦波等效的PWM波形。
控制技術(shù)就是對(duì)脈沖的寬度進(jìn)行調(diào)制的技術(shù),即通過(guò)對(duì)一系列脈沖的寬度進(jìn)行調(diào)制,來(lái)等效的獲得所需要的波形(含形狀和幅值)。
直接檢測(cè)工作臺(tái)的位移來(lái)控制系統(tǒng)。