問答題

【簡答題】列出氧化硅的五種主要物理參數，并說明實際中如何測試氧化層厚度。

答案：

密度，折射率，電阻率，介電強度，（相對）介電常數。
實際中可用折射率，介質強度和介電常數來測量。

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