問答題

答案： 1）干法腐蝕是應用等離子技術(shù)的腐蝕方法，刻蝕氣體在反應器中等離子化，與被刻蝕材料反應（或濺射），生成物是氣態(tài)物質(zhì)，從反應...

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答案：

光刻就是將掩膜版（光刻版）上的幾何圖形轉(zhuǎn)移到覆蓋在半導體襯底表面的對光輻照敏感的薄膜材料（光刻膠）上去的工藝過程。

答案：

負光刻膠