二氧化硅膜能有效的對(duì)擴(kuò)散雜質(zhì)起掩蔽作用的基本條件有哪些()     
	①雜質(zhì)在硅中的擴(kuò)散系數(shù)大于在二氧化硅中的擴(kuò)散系數(shù) 
	②雜質(zhì)在硅中的擴(kuò)散系數(shù)小于在二氧化硅中的擴(kuò)散系數(shù) 
	③二氧化硅的厚度大于雜質(zhì)在二氧化硅中的擴(kuò)散深度 
	④二氧化硅的厚度小于雜質(zhì)在二氧化硅中的擴(kuò)散深度
	A.②④
	B.①③
	C.①④
	D.②③