晶體中原子進入空隙形而形成的一對由空位和間隙原子組成的缺陷。
脫位原子進入其他空位或者遷移至晶界或表面而形成的空位。
溶質原子或雜質原子在晶界或相界上的富集,也稱內吸附,有因為尺寸因素造成的平衡偏聚和空位造成的非平衡偏聚。