名詞解釋

濺射

答案：

利用帶有電荷的離子在電場中加速后具有一定動能的特點，將離子引向欲被濺射的靶電極。

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直流輝光放電

答案：

在直流穩(wěn)定電場作用下產(chǎn)生的氣體放電現(xiàn)象。

升華

答案：

低于材料熔化溫度時，產(chǎn)生蒸汽的過程。