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答案：

在超高真空下，利用薄膜組分元素受熱蒸發(fā)所形成的原子或分子數(shù)，直接射到沉底表面，形成外延層。

答案：在外延生長過程中，襯底雜質(zhì)及其他來源雜質(zhì)因為熱蒸發(fā)，或者化學反應等非人為地參入外延層，改變了邊界層中的摻雜成分和濃度，從...