名詞解釋

答案：基座與主軸平臺間由六根桿并聯(lián)地連接，六根桿同時相互耦合地作伸縮運(yùn)動來確定平臺的運(yùn)動，由六根桿分擔(dān)受力，且只承受拉力或壓力...

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答案：指加工精度和表面質(zhì)量達(dá)到極高程度的精密加工工藝，從概念上講具有相對性，隨著加工技術(shù)的不斷發(fā)展，超精密加工的技術(shù)指標(biāo)也是不...

答案：

加工精度在10-0.1um，表面粗糙度值0.3-0.03um的加工技術(shù)。