問答題

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（1）涉及眾多科學技...

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多項選擇題

微電子領域內，下列測厚儀中屬于有臺階的測厚儀為（）。

A.臺階儀
B.干涉顯微鏡
C.光切顯微鏡
D.掃描電鏡
E.橢偏儀

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