問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】版圖設(shè)計(jì)規(guī)則可以用什么形式給出？

答案：

微米規(guī)則和λ規(guī)則。

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【簡(jiǎn)答題】在氧化層上形成所需要的圖形的步驟是什么？

答案：

甩膠、曝光、顯影、刻蝕、去膠。

問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】形成SOI材料的主要技術(shù)是什么？

答案：

注氧隔離技術(shù)、鍵合減薄技術(shù)、智能剝離技術(shù)。