單項(xiàng)選擇題

以下關(guān)于MEMS概念的描述中,錯(cuò)誤的是()。

A.通過(guò)微細(xì)加工技術(shù)及微機(jī)械加工技術(shù)在半導(dǎo)體基板上制作的微型電子機(jī)械裝置
B.在微電子學(xué)中衡量集成電路設(shè)計(jì)和制造水平的重要尺度是特征尺寸
C.特征尺寸為1μm~10mm為小型機(jī)構(gòu)
D.特征尺寸為1nm~10μm為納米機(jī)械

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