A.通過(guò)微細(xì)加工技術(shù)及微機(jī)械加工技術(shù)在半導(dǎo)體基板上制作的微型電子機(jī)械裝置 B.在微電子學(xué)中衡量集成電路設(shè)計(jì)和制造水平的重要尺度是特征尺寸 C.特征尺寸為1μm~10mm為小型機(jī)構(gòu) D.特征尺寸為1nm~10μm為納米機(jī)械
A.微型傳感器 B.智能傳感器 C.小型傳感器 D.大型傳感器
A.濕度傳感器 B.溫度傳感器 C.空氣質(zhì)量傳感器 D.二氧化碳傳感器