問答題

【簡答題】7.0旋涂碗電機不轉有哪些原因？

答案：

（1）盤片吸真空不好；
（2）電機不轉，沒電或壞；
（3）電機驅動器故障。

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【簡答題】烘爐Arm手臂放片不好，如何調整？

答案：用12#呆扳手和大力鉗，調整Arm的放片位置，觀察角度是否正確，如果放片在螺桿齒的前或后，就要調整Arm手臂地座地位置。...