問答題

【簡答題】如何調(diào)整真空傳感器？

答案：將其處于吸真空狀態(tài)，調(diào)整真空度，檢測使其指示燈剛好處于不亮狀態(tài)（此時機械手上不吸盤片）。

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【簡答題】如何調(diào)整SA？

答案：將SA處在傳出位置，把SA校正盤放在SApin上，松開SApin使SA校正盤轉(zhuǎn)動靈活，將SApin鎖緊，SA校正是轉(zhuǎn)動仍...

【簡答題】當濺鍍機報警陰極短路時，操作員應如何處理？

答案：將濺鍍機泄真空，將靶材取出，清潔陰極更換大、小mask。