A.150ppm B.15ppm C.68ppm
A.開(kāi)真空泵→開(kāi)斷路器閥門(mén)→達(dá)真空度后→關(guān)斷路器閥門(mén)→停真空泵 B.開(kāi)斷路器閥門(mén)→開(kāi)真空泵→達(dá)真空度后→停真空泵→關(guān)斷路器閥門(mén) C.開(kāi)斷路器閥門(mén)→開(kāi)真空泵→達(dá)真空度后→關(guān)斷路器閥門(mén)→停真空泵
A.90% B.110% C.120%