填空題

橫河EJA智能變送器的傳感器是（）式，它將被測(cè)參數(shù)轉(zhuǎn)換成（），然后通過測(cè)頻率來得到被測(cè)差壓或壓力值。

答案： 硅諧振；硅梁的振動(dòng)頻率
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