某一電容測微儀,其傳感器的圓形極板半徑r=4mm,工作初始間隙d=0.3mm,問:
(1)工作時,如果傳感器與工件的間隙變化量Δd=2μm時,電容變化量為多少?
(2)如果測量電路的靈敏度S1=100mV/pF,讀數(shù)儀表的靈敏度S2=5格/mV,在Δd=2μm時,讀數(shù)儀表的示值變化多少格?

試推導(dǎo)圖所示變介質(zhì)型電容式位移傳感器的特性方程C=f(x)。設(shè)真空的介電常數(shù)為ε0,圖中ε2〉ε1,極板寬度為W。其它參數(shù)如圖所示。

