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判斷題

利用化學(xué)氣相沉積法和物理氣相沉積法均可以獲得非晶硅膜。

答案：正確

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多晶硅的鑄錠工藝主要有定向凝固法和澆鑄法兩種。

答案：正確

單晶硅錠的制備方法很多，目前國(guó)內(nèi)外在生產(chǎn)中主要采用溶體直拉法和輝光放電法。

答案：錯(cuò)誤

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