問答題

【簡答題】解釋晶體晶向?qū)ρ趸锷L的影響。

答案：線性氧化物速率依賴于晶向的原因是（111）面的硅原子密度比（100）面的大。因此，在線性階段，（111）硅單晶的氧化速率...

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答案：重?fù)诫s的硅要比輕摻雜的氧化速率快。

【簡答題】舉出氧化工藝中摻氯的兩個優(yōu)點。

答案：優(yōu)點：可以中和界面處的電荷堆積；能使氧化速率提高10%到15%。