問答題

【簡(jiǎn)答題】列出并描述光刻中使用的兩種UV曝光光源。

答案：汞燈和準(zhǔn)分子激光

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【簡(jiǎn)答題】描述曝光波長(zhǎng)和圖像分辨率的關(guān)系。

答案：

較短的波長(zhǎng)可以獲得光刻膠上較小尺寸的分辨率。

【簡(jiǎn)答題】陳述軟烘的4個(gè)原因。

答案： 1.將硅片上覆蓋的光刻膠溶劑去除；
2.增強(qiáng)光刻膠的粘附性以便在顯影時(shí)光刻膠可以很好地粘附；
3.緩...

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