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【簡(jiǎn)答題】硅諧振式傳感器是怎樣工作的?
答案:
硅諧振式傳感器利用在一塊單晶硅芯片上一個(gè)在硅片中央,一個(gè)在硅片邊緣的兩個(gè)H型諧振梁在被測(cè)壓力作用下,一個(gè)受壓,一個(gè)受拉,...
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