問答題

【簡答題】名詞解釋：CVD、LPCVD、PECVD、VPE、BPSG。（將這些名詞翻譯成中文并做出解釋）。

答案：

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【簡答題】描述CVD反應中的8個步驟。

答案：

1）質量傳輸
2）薄膜先驅物反應
3）氣體分子擴散
4）先驅物吸附
5）先驅物擴散進襯底
6）表面反應
7）副產物解吸
8）副產物去除