單項(xiàng)選擇題

Module制程設(shè)備上通常都有高效過(guò)濾器（FFU），其作用是（）。

A.去除設(shè)備內(nèi)靜電
B.對(duì)進(jìn)入設(shè)備內(nèi)的水進(jìn)行過(guò)濾
C.去除設(shè)備內(nèi)異物
D.以上均不是

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